| Grootte van het werkgebied (diameter * hoogte mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Ultieme vacuüm (Pa) | 1*10- 4Een maal tien.-3 | 1*10- 4Een maal tien.-3 | 1*10- 4Een maal tien.-3 |
| Maximale temperatuur (°C) | 2400. 2500 | 2400. 2500 | 2400. 2500 |
| Temperatuuruniformiteit (°C) | ±7.5 | ±7.5 | ±7,5 ±10 |
| Drukverhoging (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |