2200C Vacuümdamp-afzettingsoond voor pyrolytische koolstofcoating van halfgeleiders

                                                       Vacuümstoofen voor de afzetting van dampen

2200C Hoogtemperatuur Vacuümdamp-afzettingsoond voor pyrolytische koolstofcoating van halfgeleiderapparaten CVD-oond,

Hoofdkenmerken:

Gebruik van stofafzettingsoond: Deze chemische stofafzettingsoond met geïntegreerde grafitisatie kan worden gebruikt voor chemische stofafzetting van samengestelde materialen met UND drocarbongas (zoals C3H8),De Commissie heeft de Commissie verzocht om een verslag uit te brengen over de resultaten van de onderzoeksprocedure in het kader van het onderzoeksproces.

Doel van de stofafzettingsoond:

Deze geintegreerde oven voor chemische dampdepositie met grafitisering kan worden gebruikt voor chemische dampdepositie van samengestelde materialen met UND drocarbongas (zoals C3H8, enz.) als koolstofbron,zoals CVD, CVI-behandeling van C/C-compositieve materialen, SiC-compositieve materialen, oppervlaktecarbonisatiebehandeling van grafite delen en productie van grafeen.

Kenmerken van de stofafzettingsoond:

Het multifunctionele hoogtemperatuurontwerp kan tegelijkertijd chemische dampafzetting en grafitisering bereiken.

De werktemperatuur is zo hoog als 2600, en het kan lang stabiel en betrouwbaar werken.

Het automatische omrekeningssysteem voor temperatuursmeting in combinatie met thermoparen en infraroodthermometers kan de weergave en bediening van het gehele temperatuurbereik realiseren.

Het frequentiebeheersysteem voor inductieverwarming met IGBT als hoofdkragtoestel zorgt ervoor dat de apparatuur energiebesparend en energiebesparend is.met kleine harmonische componenten en geen interferentie met externe apparatuur.

De nauwkeurige weergave en besturing van de in- en uitlaatgassen zorgt voor de stabiliteit van het product.

Er wordt gebruikgemaakt van de speciale afzettingskamer met een goed afdichtingseffect en een sterke vermogen tegen verontreiniging

Het gaspad van de meerkanaal-afzetting wordt gebruikt, het stroomveld is gelijkmatig, er is geen afzetting doodhoek en het afzettingseffect is goed;

Het speciale filtratiesysteem kan de teer, vast stof, organisch gas, enz. die tijdens het koolstofafzettingsproces worden gegenereerd, effectief behandelen.

Technische parameters van de stofafzettingsoond: